-
洁净室压差要求及控制
2026/5/25
流体的运动，离不开“压差”的作用。在洁净区内，各个房间相对于室外大气的压力差，我们称之为“绝对压差”。每个相邻房间、相邻区域的压力差，我们称之为“相对压差”，简称“压差”。 空气总是从绝对压差高的地方流向绝对压差低的地方，所以，我们必须保证洁净度越高的房间绝对压差越高，洁...
-
洁净场景暖通设计核心要点
2026/5/25
结合洁净室/实验室/高科技制造业场景，暖通设计核心围绕「洁净控制+精准调控+稳定运行」，以下是精简版核心要点，分模块梳理关键技术： 一、核心设计原则（3大核心） 洁净优先：以空气洁净度等级（ISO1-9级）为基准，匹配过滤系统、气流组织、压差控制，杜绝污染扩...
-
洁净厂房自控系统（FMCS）核心要点
2026/5/13
一、核心控制目标（满足GMP/ISO标准） 1.环境参数精准控制： 温湿度：按工艺要求±0.5℃~±1℃（温度）、±5%RH（湿度），无凝露洁净度：粒子浓度实时监测（0.5μm/5μm），联动新风/过滤系统压差：洁净区相对非洁净区正压（...
-
洁净室污染物分类与控制
2026/5/13
为确保半导体制造过程在稳定、可靠的环境中进行，保障产品良率与设备寿命，必须对洁净室及相关受控环境中的污染物实施严格、系统的控制。 一、污染物分类（按性质+形态精简） 1.主要污染物类型 2.关键分类维度 按粒径：≥0.5μm（常规监...
-
工作人员进入无尘车间注意事项
2026/5/13
01 着装规范（基础要求） 按“内衣→无尘服→无尘帽→无尘口罩→无尘鞋/鞋套”顺序穿戴，确保头发、胡须、衣物边角完全包裹，无外露。禁止佩戴首饰、手表、手机等非必要物品，化妆品、发胶等易产生粉尘的用品不得使用。无尘服需检查无破损、污染，穿戴后拉紧拉链、粘好魔术贴...
-
干式洁净室核心技术要点
2026/4/21
干式洁净室以“无湿制程、严控颗粒物与湿度”为核心，广泛应用于电子半导体、精密机械等领域，技术要点聚焦设计、运行、维护关键环节，核心如下： 01 核心控制指标（量化达标） 洁净度：按ISO14644-1（1-9级），重点控制0.1μm/0.5μm颗粒物（...
