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电子洁净厂房防静电与接地设计注意事项
2025/12/2
洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境。防静电环境设计应满足抑制或减少静电的产生，以及将已产生的静电迅速、安全、有效地排除的要求。
防静电环境设计应按电子产品或生产工序(设备)进行分级。防静电环境内静电电位绝对值应小于电子产品的静电电位安全值。防静电环境设计应分为三级，防静电环境设计分级适用场所应符合下表的要求。
二、防静电措施
洁净厂房防静电环境中，防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求：
1、防静电地面面层的选择，应满足电子产品生产工艺的要求。2、防静电地面的表层应采用静电耗散性材料，静电耗散性材料表面电阻率应为2.5×10^4~1×10^9Ω。
3、防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接，其地面对地泄放电阻值应为1×10^5~1×10^8Ω。
洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设计，应符合下列要求：
1、一 级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5×10^4~1×10^6Ω，摩擦起电电压不应大于100V，静电半衰期不应大于0.1s。
2、二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面 电阻、对地电阻应为1×10^6~1×10^9Ω，摩擦起电电压不应大于200V，静电半衰期不应大于1s，但软帘的摩擦起电电压不应大于300V。
3、三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料，顶棚、门等宜采用低起电材料。选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。
洁净厂房防静电环境的门窗设计，应符合下列要求：
1、应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面。
2、金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层，并应接地。
3、室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时，玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层。
洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求：
1、各类装修材料应具有表面静电耗散性能，不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料。
2、各类装修的饰面应平整光滑。
3、洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管，应选用导电材料制作，并应接地。
4、洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时，应在其表面安装金属网，并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时，应在软管上安装与其紧密结合的金属导体，并应采用接地引线与其可靠连接接地。
三、防静电接地
导静电泄放至大地是消除静电的一种主要方法。为了保证静电迅速、安全、有效地泄放，洁净区域金属物体、导静电材料均应做可靠接地。导静电地面、活动地板、工作台面、座椅等应做静电接地。
静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定性，其主干线截面不应小于95mm²，支线最小截面应为2.5mm²。与人体接触的静电接地应串接限流电阻，限流电阻的阻值宜为1MQ。
在电子工业洁净厂房中，有多种可燃、有毒的气体、液体或粉体输送、储存设备、管道，这些介质的设备、管道也是容易产生静电危害的场所。所以，对这些介质的设备、管道应采取可靠的、安全的导静电泄放至大地的接地措施，以保证一旦产生静电能够迅速、有效、安全地泄放。有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。
