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集成电路洁净室AMC在线监测
2024/10/10
半导体制程工艺的不断进步，精度的不断提高，制程越来越复杂，不仅仅是制程设备的精益求精，将有更多新器件、更多芯片堆叠和系统创新来提升性能、能耗和成本，降成本最佳办法是缩小多晶硅间距、金属互联距离、电路单元厚度和晶圆材料提升，对于洁净室中存在的气态分子污染物（AMC）的监测和管...
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无尘室空气净化系统的形式
2024/8/30
一、无尘室车间整体净化无尘室可分为层流型和乱流型。 层流无尘室是指空气由一侧全面地以同速流向另一侧，使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外或者经过回风口过滤器过滤处理，而达到好的除菌效果，该方式比较适合用于高洁净度等级要求的行业无尘室。乱流无尘室是指空气...
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半导体晶圆洁净厂房建设
2024/8/30
随着科技的迅速发展，半导体晶圆已成为现代电子产品的核心部件之一。为了保证半导体晶圆的品质和生产效率，洁净厂房的建设变得至关重要。本文详细探讨半导体晶圆洁净厂房建设的方案，包括设计、建造工艺、设备配置、技术特色、质量管理及人员配置等方面，供参考。 一建设方案 1...
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彩钢板种类及介绍
2024/8/30
彩钢夹芯板是由上下两层彩色涂层钢板作为面板，以保温隔热材料聚苯乙烯、聚氨脂、酚醛泡沫、岩棉等为芯材，在专用的自动化生产线上，经连续成型工艺将芯材与面板复合成整体的建筑板材，俗称为“夹芯板”。这种复合板材虽然引进我国的历史不到20年时间，但由于其具有承力、保温隔热、装饰、防水...
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电子厂房洁净室工程施工技术要求
2024/8/30
施工单位是洁净室系统最终验收合格的第一责任人（设计责任除外）。因此，施工单位除了应严格按相关国内规范、标准和行业标准完成本标段工作外，还应当参与空调机组的采购与安装，空调冷、热源系统和加湿系统安装，洁净室范围内消防防排烟及挡烟垂壁施工安装、消防水管路和湿式喷淋头安装、消防探...
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洁净室自净时间检测技术研究与应用
2024/8/30
摘要：本文旨在探讨洁净室自净时间的检测技术及其在实际应用中的重要性。通过对洁净室自净时间检测方法的介绍，分析了影响自净时间的因素，并提出了相应的优化措施。 文章还结合实际案例，阐述了自净时间检测在洁净室性能评估和维护管理中的应用，为洁净室的优化设计和高效运行提...
